X射線總劑量輻射地面模擬試驗系統

晶片級器件輻照及輻射效應參數提取設備

1. 設備為晶片級器件輻照及輻射效應參數提取專用試驗系統，用于半導體器件、微納器件 X 射線總劑量輻射地面模擬試驗，可完成器件輻照及輻射效應參數在線提取測試。

2. 系統集成射線管、探針測試臺、高倍率顯微觀測模塊；射線管單元與顯微鏡支持獨立電動升降移動，可根據樣品高度、測試需求調整工作距離。

3. 整套設備一體化集成，具備安全聯鎖、劑量監控、狀態反饋功能，滿足實驗室長期連續輻照測試使用。

核心技術指標

1. 輻照單元

· 輻射類型：X 射線總劑量輻照模式，用于模擬空間輻射總劑量效應地面模擬試驗。

· 輸出劑量范圍：可實現寬范圍劑量率可調，支持高低劑量率切換，可完成器件累積總劑量輻照試驗。

· 輻照均勻區：具備滿足晶片級樣品輻照的有效均勻照射區域，劑量均勻性滿足器件總劑量試驗評估要求。

· 射線管、顯微鏡均配置獨立電控升降運動機構，可電動調節高度位置，定位重復精度高。

2. 探針測試平臺

· 集成晶片級探針臺，可支持晶片、裸芯片、微納器件夾持定位，樣品臺具備精密位移調節能力。

· 可外接電學測試儀表，實現在線加電、實時電學信號采集，支持輻照過程中器件電學參數原位測試。

3. 顯微觀測模塊

· 配置高倍率顯微觀測系統，可實時觀測探針器件接觸狀態、樣品狀態，用于探針對位、樣品狀態監控。

· 顯微鏡與 X 射線管運動機構相互獨立，可分別調整位置，不互相干涉。

4. 控制與軟件功能

· 系統采用精密電控控制方式，輻照劑量、輻照時間、運動軸均可軟件設置控制。

· 具備輻射效應參數在線提取功能，可記錄輻照過程試驗數據，存儲試驗日志，支持試驗過程追溯。

· 具備完備安全防護與安全聯鎖功能，艙門開啟自動切斷射線輸出，具備故障報警提示。

5. 設備用途 

     X射線總劑量輻射地面模擬試驗系統

用于半導體微納器件地面輻射模擬試驗、器件抗輻照性能評估，完成總劑量輻照試驗、輻照效應原位參數提取。